INTEGRATED GAS SYSTEM>>Compartició de sèries de productes IGS
VIGOR ofereix sistemes integrats de gas (IGS) avançats dissenyats específicament per al control de gas d'alta-puresa a la indústria de fabricació de semiconductors. Les nostres solucions combinen enginyeria innovadora amb estàndards de fabricació estrictes per garantir la fiabilitat, la compacitat i un rendiment superior en aplicacions crítiques.
Característiques del producte
- S'utilitza per al control de gasos a la indústria dels semiconductors
- Disseny modular
- Tots els components estan muntats a la superfície d'acord amb l'estàndard SEMl
- La mida és aproximadament 1/3 del panell tradicional
- Material estàndard SEMl, procés d'electropolit i soldadura orbital
- Wseal i C-seal opcionals
- Doble bossa a la sala blanca
- Tots els productes, excepte els "brackets", es fabriquen d'acord amb l'especificació del procés VS001A
Reguladors de pressió IGS Sèrie VIR
1. Màx. Pressió de treball: 150 psig
2. Màx. Temperatura de treball: -40 graus F ~ 140 graus F (-40 graus ~ 60 graus)
3. Pressió de sortida: 0~100 psig
4. L'acabat de la superfície: màxim. 5uin. Ra
5. Material: 316L VIM-VAR
6. Seient de la vàlvula: PCTFE (PFA/Vespel opcional)
7. Capacitat de cabal: Cv=0.08
Vàlvules de diafragma IGS Sèrie VID
1. Màx. Pressió de treball: 150 psig
2. Màx. Temperatura de treball: PCTFE 14 graus F ~ 176 graus F (-10 graus ~ 80 graus); PFA 14 graus F ~ 302 graus F (-10 graus ~ 150 graus)
3. Sense disseny sense sortida
4. La superfície humida es tracta amb EP, Max. 5uin. Ra.
5. Material: 316L VIM-VAR
6. 100%-fuites-d'heli provades
7. Capacitat de cabal: Cv=0.1
Vàlvules de control de cabal IGS Sèrie VIM
1. Màx. Pressió de treball: 150 psig
2. Màx. Temperatura de treball: 14 graus F ~ 302 graus F (-10 graus ~ 150 graus)
3. Segellat: FKM
4. La superfície humida es tracta amb EP, Max. 5uin. Ra
5. Capacitat de cabal: Cv=0.03
Vàlvules de retenció IGS Sèrie VICV
1. Màx. Pressió de treball: 150 psig
2. Màx. Temperatura de treball: 14 graus F ~ 176 graus F (-10 graus ~ 80 graus)
3. Acabat superficial: . 5uin màxim. Ra
4. Pressió de trencament: 0,33 psig
5. Capacitat de cabal: Cv=0.2
Substrats Sèrie VlB (segell C-)
1. C-segell
2. Instal·lació no-fixa per garantir l'efecte de segellat
3. La part humida es tracta amb EP
4. L'acabat de la superfície: Max. 5uin.Ra
5. Material: 316L VIM-VAR
Sèrie de productes bàsics
- Reguladors de pressió IGS (sèrie VIR)
- Vàlvules de diafragma IGS (sèrie VID)
- Vàlvules de control de cabal IGS (sèrie VIM)
- Vàlvules de retenció IGS (sèrie VICV)
- Substrats i suports IGS (sèrie VIB)
- Juntes (sèrie VIG)
Per què escollir VIGOR IGS?
Els nostres sistemes representen una sinergia d'enginyeria de precisió i disseny pràctic, oferint:
- Eficiència espacial: mida del panell molt reduïda.
- Ultra-alta puresa: materials i processos adaptats per a aplicacions de grau-de semiconductors.
- Flexibilitat modular: fàcil de configurar, ampliar i mantenir.
- Fiabilitat provada: proves estrictes i compliment dels estàndards SEMI-.
A VIGOUR, oferim més que només components-oferim solucions integrades que donen vida a les teves idees amb confiança i precisió.
