VIGOR Producte Express|Interruptor de cabal Sèrie VEFS2

Impulsada per la intel·ligència artificial, la informàtica d'alt rendiment (HPC), l'electrònica de l'automòbil i les aplicacions d'Internet de les coses, la indústria dels semiconductors està experimentant una ràpida transformació. Aquest creixement notable, però, també ha introduït nous reptes operatius. A mesura que les escales de producció s'expandeixen a un ritme sense precedents, els gasos especials d'alt risc com el silà i la fosfina s'utilitzen àmpliament a les fàbriques de semiconductors. Qualsevol fuita de gas incontrolada causada per ruptura de canonades, accessoris solts, fallada del segell o instal·lació inadequada pot convertir-se ràpidament en un incident greu de seguretat, amenaçant la seguretat del personal, danyant equips de producció crítics i causant costosos temps d'inactivitat no planificats. En aquest context, l'interruptor d'excés de flux (EFS) de VIGOUR, amb el seu disseny d'accionament purament mecànic i la seva excepcional compatibilitat de puresa ultra-alta-(UHP), s'ha convertit en una salvaguarda de seguretat indispensable per als sistemes de subministrament de gas especialitzats, inclosos armaris de gas i VMB, a les línies de fabricació de semiconductors a tot el món.

El principi bàsic de disseny del VIGOR EFS és detectar condicions de flux anormals i respondre de manera fiable. Quan una fallada de la canonada aigües avall provoca un augment de flux sobtat i excessiu que supera el-punt d'interrupció crític preestablert, el dispositiu activa immediatament un senyal de resposta. Aquest senyal es transmet mitjançant l'obertura o el tancament de contactes elèctrics a l'interruptor de canya-incorporat, que després es sincronitza i s'envia al sistema SCADA o al sistema de monitorització de gas (GMS). En proporcionar alertes-en temps real i en permetre respostes automatitzades ràpides, admet una gestió proactiva de la seguretat, mitiga eficaçment els perills potencials i reforça la fiabilitat global de la xarxa de distribució de gas.

En els processos de fabricació de semiconductors, cada component del sistema de gas pot esdevenir una font potencial de contaminació. Fins i tot les partícules minúscules, les impureses metàl·liques o l'adsorció superficial poden comprometre la qualitat de les hòsties i reduir els rendiments de producció. Per tant, VIGOR s'adhereix estrictament als estàndards estrictes de la indústria dels semiconductors per garantir la puresa del material, la neteja de la superfície i l'estabilitat operativa.

Pel que fa als estàndards de materials, VIGOR utilitza exclusivament acer inoxidable 316L produït mitjançant la tecnologia de doble-fusió VIM/VAR. Aquest procés metal·lúrgic avançat redueix significativament les inclusions metàl·liques i les impureses residuals, assegurant una excel·lent resistència a la corrosió i minimitzant el risc de contaminació per gas. Per al tractament de superfícies, tots els productes se sotmeten a un electropolit (EP) avançat, mantenint una rugositat superficial interna de 5-10 μin. Un interior tan llis i net evita que les molècules de gas s'adsorbeixin a les parets interiors i elimina la precipitació de partícules, donant suport a un lliurament de gas estable i lliure de contaminació-.

A més, VIGOR EFS ofereix una àmplia selecció de punts crítics i opcions de configuració flexibles per adaptar-se a diversos escenaris d'aplicació. Mitjançant una senzilla concordança de paràmetres, els usuaris poden determinar fàcilment el model precís en funció dels tipus de gas específics, les condicions de pressió de funcionament i els cabals màxims permesos. Aquest alt grau de personalització garanteix una protecció precisa i fiable sobre-flux per a diverses aplicacions de gas d'ultra-alta-puresa en la fabricació moderna de semiconductors.

  Interruptor de cabal per a aplicacions d'alt cabal

 Disponible amb línia principal horitzontal o vertical

 Caiguda de pressió mínima a través del dispositiu

 Acer inoxidable SS 316L